版图寄生计算
按走线段累加寄生电阻与对衬底电容:M1~M9/M_user 金属层预设(方块电阻与单位衬底电容均可手改)、温度修正,支持所有段同电流或逐段独立电流,实时显示段阻值/电容/压降与最差段瓶颈。
方块数 n□ = L/W | 段阻值 Ri = Rs·n□ | 总阻抗 Rtot = ΣRi | 对衬底电容 Ci = L·W·Csub | 压降 V = I·R | 总压降 = Σ(Ii×Ri) | 温度修正 R(T) = R·(1+α·(T−27°C)×10⁻⁶)
| 段 | 层 | 长度 L (µm) | 宽度 W (µm) | Rs (mΩ/□) | Csub (fF/µm²) | 方块数 n□ | 段阻值 | 对衬底电容 | 占比 | 压降 |
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模型假设:
- 纯直流方块电阻模型:R = Rs·(L/W),不含趋肤效应、电感与转角修正;温度按 R(T) = R·(1+α·(T−27°C)×10⁻⁶) 线性修正(默认 α = 3000 ppm/°C)。
- 对衬底电容按平板电容近似:Ci = L·W·Csub(走线面积 × 单位面积电容),仅含底板电容,不含边缘 / 侧壁电容与层间耦合。
- 「层」下拉提供 M1~M9 典型量级的方块电阻与单位衬底电容预设(越厚的高层 Rs 与 Csub 越低),选择后自动带出默认值,仍可按工艺手册手改(手改后层标记为 M_user)。
- 电流设置两种模式:所有段电流相同(串联模型,总压降 = I×Rtot);各段电流不同(如树状供电路径,逐段填写电流,总压降 = Σ(Ii×Ri),可先用「统一填充」赋初值再逐段微调)。
- 过孔 / 接触电阻可作为一段加入:令 L = W(方块数 = 1),Rs 直接填单个过孔 / 接触的电阻值(单位 mΩ),Csub 留空即不计电容。
- 填入电流后,压降最大的走线段会红色高亮,并在表格上方显示瓶颈提示。